Vakuumpumpar

Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions, som är en del av den globala Busch Group, presenterar de nya UltiDry multi-stage Roots vakuumpumparna. Dessa pumpar är designade för krävande halvledarapplikationer och kombinerar robust prestanda med hög energieffektivitet och processflexibilitet.

UltiDry vakuumpumpar är konstruerade för att tåla korrosiva gaser, aggressiva biprodukter och stora mängder pulver. Den oljefria, flerstegskompressionen säkerställer en ren och torr vakuumgenerering utan kontaminering, vilket gör dem idealiska för processer som kemisk ångavsättning (CVD), atomlageravsättning (ALD) och fysisk ångavsättning (PVD).

Patenterat spolningssystem och betydande energibesparingar

En av de viktigaste innovationerna i UltiDry är det patenterade spolningssystemet, utvecklat för att skydda vakuumpumpen genom att spola bort föroreningar som pulver. Denna funktion garanterar stabil prestanda och smidig drift, även i processer med mycket pulver.

Energiförbrukningen är en avgörande kostnadsfaktor i halvledarfabriker. Tack vare sin optimerade flerstegsdesign erbjuder UltiDry energibesparingar på upp till 87 % jämfört med andra vakuumpumpar i samma klass. Det minskar inte bara koldioxidavtrycket, utan hjälper också kunder att nå sina hållbarhets- och kostnadseffektivitetsmål.

Vakuumpumpen fungerar tillförlitligt inom ett brett temperaturområde från 50 °C till 270 °C och anpassar sig flexibelt till olika processkrav. Detta gör den lika lämplig för temperatorkänsliga beläggningsprocesser som för korrosiva halvledarapplikationer. Genom att bibehålla stabil drift under varierande temperaturförhållanden stöder UltiDry konsekvent produktkvalitet och långa serviceintervall. Kombinationen av korrosionsbeständig beläggning, minskad användning av spolgas och hög energieffektivitet gör UltiDry till en hållbar, lättskött lösning för krävande tillverkningsmiljöer.

Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions – en del av den globala Busch Group – tillkännager lanseringen av vakuumboosterpumpsystemet COMBI WVD. Denna kompakta enhet erbjuder hög prestanda och ett litet installationsutrymme. Den är ett tillskott till den befintliga COMBI-serien och består av en PANDA-vakuumbooster och en DuoVane tvåstegs oljesmord roterande lamellvakuumpump.

COMBI WVD vakuumboosterpumpsystem kännetecknas av hög pumphastighet och lågt sluttryck, från atmosfär ner till området 10⁻³ hPa (mbar). Detta gör systemet idealiskt både för fristående drift och som förpump till högvakuumpumpar, såsom turbomolekylära vakuumpumpar. COMBI WVD-pumpsystemet är efterföljaren till CombiLine WD.

COMBI WVD vakuumboosterpumpsystem är särskilt lämpade för vakuumbeläggning eller torkningsapplikationer och passar även väl för användning inom metallurgi, forskning och utveckling samt andra industrier. De finns tillgängliga i olika konfigurationer av PANDA-vakuumboosterar och DuoVane roterande lamellvakuumpumpar. För att säkerställa optimal anpassning till varje kunds process samt långsiktig driftsäkerhet för varje enskild installation stöds kundanpassade konfigurationsalternativ. Pfeiffer erbjuder även ett brett sortiment av tillbehör, inklusive styrenheter för vakuumbooster och roterande lamellvakuumpump, oljedimavskiljare, gasspjällsventilkit och reservdelar.

Tillförlitlig vakuumgenerering med lågt underhåll

COMBI WVD-serien säkerställer tillförlitlig vakuumgenerering och är därför även väl lämpad för applikationer inom FoU samt den kemiska och farmaceutiska industrin. Detta möjliggörs genom den kontaktfria driften av PANDA-vakuumboosterarna i processkammaren. Dessutom kan vissa konfigurationer utnyttja valfria magnetkopplingar för både vakuumpump och booster, vilket eliminerar behovet av konventionella axeltätningar. Denna konstruktion minimerar även underhållsbehovet och bidrar till ökad kostnadseffektivitet.

Vidare är PANDA-vakuumboostern utrustad med en integrerad bypassventil som skyddar vakuumpumpsystemet mot överbelastning och överhettning, vilket ökar tillförlitligheten och säkerheten hos COMBI WVD.

Busch Vacuum Solutions introducerar COBRA DH-serien – en ny generation högpresterande torra skruvvakuumpumpar, särskilt utvecklade för krävande industriella applikationer.

COBRA DH-serien består av kompakta och intelligenta skruvvakuumpumpar med integrerad vakuumförstärkare. Med ett nominellt pumphastighetsområde från 2 700 till 6 200 m³/h säkerställer de snabba cykeltider och låga driftkostnader. Serien är idealisk för industriella tillämpningar såsom beläggning, produktion av litiumjonbatterier, solenergi eller metallurgi.

Hög prestanda för krävande miljöer

COBRA DH-vakuumpumpar använder sig av torr, kontaktfri skruvteknik som minimerar slitage och förlänger serviceintervallen. Den avancerade skruvdesignen förbättrar toleransen mot ånga och partiklar, vilket är särskilt fördelaktigt i krävande processer som beläggning. Dessutom minimerar de gastäta vakuumpumparna risken för kontaminering.

Tack vare sin höga pumphastighet möjliggör COBRA DH-serien snabb evakuering och reducerade cykeltider – viktiga faktorer för att förbättra processeffektiviteten. Vakuumpumparna är utrustade med frekvensomriktare (VSD), vilket gör att de kan justera varvtalet efter det önskade vakuumet, vilket minskar energiförbrukningen. Effektiv vattenkylning säkerställer en jämn temperaturfördelning, vilket bevarar termisk stabilitet och möjliggör kontinuerlig drift även under krävande termiska förhållanden.

Energieffektiv drift för alla processer

En av de mest framstående egenskaperna hos COBRA DH-vakuumpumparna är deras höga energieffektivitet. De kan dessutom utrustas med det valfria energisparmodulen VacBoost, som ytterligare minskar energiförbrukningen. Under produktionspauser går vakuumpumpen automatiskt över till viloläge och arbetar då med reducerat varvtal. Detta sparar energi samtidigt som pumpen hålls redo för snabb uppstart vid behov.

Klara för omedelbar användning

Tack vare plug&pump-konceptet kräver COBRA DH-serien ingen ytterligare installation före driftsättning. De är utrustade med en 7-tums färgpekskärm med intuitiv meny, vilket möjliggör styrning och övervakning av viktiga funktioner samt driftsparametrar såsom aktuellt vakuumnivå eller pumphastighet.

För att möta moderna industrikrav är vakuumpumparna redo för Industri 4.0. De stöder ett flertal gränssnitt, inklusive Ethernet, vilket gör att kunder kan fjärrstyra COBRA DH-pumpar via en webbserver och anpassa inställningar som pumphastighet. Digitala I/O, RS-485 och ProfiNet möjliggör dessutom sömlös integration med styrsystem.