OEM Automatic – GP200 – När hög noggrannhet är ett krav i processen

Brooks Instruments GP200 differenstryckbaserad massflödesregulator, med unik teknisk design som överträffar existerande begränsningar med dagens tryckbaserade massflöderegulatorer, möjliggör ett mycket exakt flöde av gas genom processen vid varierande förhållanden. GP200-serien är den första helt tryckokänsliga tryckbaserade massflödesregulatorn (P-MFC) som utformats särskilt för avancerade etsnings- och deponeringsprocesser inom halvledartillverkning.

GP200 TRYCKBASERADE MASSFLÖDESREGULATORER

GP200-seriens P-MFC har en patenterad arkitektur som övervinner begränsningarna hos konventionella P-MFC:er för att ge den mest exakta processgastillförseln, även vid flöden av processgaser med lågt ångtryck. Den innehåller flera unika konstruktionsaspekter, bland annat en integrerad differenstrycksensor i kombination med en ventilarkitektur i nedströmsled. Detta möjliggör det mest exakta processgasflödet över det bredaste spektrumet av driftsförhållanden i branschen.

APPLIKATIONSOMRÅDEN:

• Halvledartillverkning
• Etsning
• Kemisk förångningsdeposition (CVD)
• Tillämpningar för gasflödesreglering som kräver en hög renhet av helmetall i flödesvägen.

DÄRFÖR SKA DU VÄLJA GP200

Eftersom GP200-serien har stöd för ett väldigt brett spektrum av processförhållanden kan den användas som en ”drop-in”-ersättning och uppgradering för många traditionella P-MFC:er och termiska MFC:er. Den minskar komplexiteten och ägandekostnaden för gasflödessystemet eftersom den eliminerar behovet av komponenter som tryckregulatorer och omvandlare.

1. Minskad osäkerhet vid mätning med hjälp av en differenstrycksensor, ger överlägsen noggrannhet och repeterbarhet vid flödesmätning.
2. Lämplig för alla processförhållanden, tryck och gaser.
3. Exakt och repeterbar gasleverans, 2,5X snabbare flödesstabilisering för ökad genomströmning.